FFAMMP3H
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蒸着プロセス専用非接触温度計 FFAMMP3Hシリーズ

9月 03, 2012
Raytekはマラソンシリーズに新たに窓ガラス越(石英、サファイア)にランプヒーターやプラズマの影響を受けずに温度を測定できる蒸着プロセス専用非接触温度計FFAMMP3Hシリーズを発表しました。

温度範囲300~1300℃、ハロゲンランプやプラズマの影響を受けにくい3.43μmの応答波長を使用し、太陽光パネルモジュールや、ウエハー温度のみを窓越(石英、サファイア)に測定できます。

CVD、エピタキシャル成長やRTP、ソーラーパネル・モジュールの蒸着工程などのプロセスにご使用いただけます。またランプヒーター自体の温度測定も可能です。

・ 温度範囲:300~1300℃

・ 応答波長:3.43μm

・ 出力:4~20m



製品に関する詳細情報についてのお問い合わせは、下記にお問い合わせください

   フルーク
   電話: 03-6714-3114

本製品はRaytek社製品ですが輸入販売元はフルークとなります。
 
 
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